光伏發電作為可再生能源的重要組成部分吸引著越來越多的人投入到這一研究領域中，幾乎每一個國家都在關注這一領域的研究。低光伏發電成本、高效率太陽電池的獲得更是人們一直以來追求的目標。單室沉積技術作為一種低成本技術已成為人們關注的熱點之一?，F在產業化比較成熟的硅基薄膜太陽電池大多是單室沉積的非晶硅薄膜太陽電池或非晶硅/非晶硅疊層太陽電池，其光電轉換效率基本上在6.5%左右。如何利用現有的低成本技術，同時又能夠進一步提高其轉換效率是一個值得關注的方向。本文在產業化光電轉換效率比較高、穩定性比較好的非晶硅/非晶硅疊層太陽電池的基礎上，首先進行了單室沉積單結微晶硅底電池的研究，然后進行了高效率、低成本的非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的研究。目前，對于單室沉積的非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的研究報道很少。通過初步優化。

單室內連續沉積兩個微晶硅太陽電池的-V和EQE測試單室沉積轉換效率達7.47%單結微晶硅太陽電池-V曲線3.2.單室沉積非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層薄膜太陽電池掌握了單室沉積單結微晶硅薄膜太陽電池的工藝技術后，在進行非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層底電池本征層不同硅烷濃度制備非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的-V曲線非晶n層不同處理時間制備非晶硅/非晶硅/微晶硅二疊層太陽電池的-V曲線轉換效率為9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的-V曲線太陽電池制備前，我們對生產線上提供的非晶硅/非晶硅疊層太陽電池進行了小面積電池性能的測試分析。是面積為0.253cm2電池的-V測試結果。從圖中可以看出雖然非晶硅/非晶硅疊層太陽電池的人。比較小，但電池的V和填充因子（FF）比較好，因此電池的光電轉換效率達到了7.12%.津能電池科技有限公司生產的非晶硅/非晶硅疊層太陽電池的-V曲線在前面制備單結微晶硅薄膜太陽電池的基礎上，本文首先進行了非晶硅電池和微晶硅電池相連接的nip隧穿結的研究。因為生產線上提供的非晶硅/非晶硅疊層太陽電池的n層是非晶，而非晶硅/非晶硅/微晶硅疊層太陽電池中的n-）隧穿結需要是微晶的才能形成很好的接觸和隧穿特性。因此需要在此電池基礎上進行非晶硅n層的處理。本文提出通過氫等離子體刻蝕然后再沉積微晶硅n層的方法。給出了采用氫等離子體處理時間分別為2s和10s制備電池的-V測試結果。從圖中可以看出：一定時間的氫等離子體處理對電池特性有很好的調控作用，使得轉換效率從8.12%增長到8.69%.這主要是因為氫等離子體處理會對非晶硅n層進行刻蝕，這樣一方面減薄了非晶硅n層的厚度，另一個方面也使隨后生長的微晶n層和p層能夠很好的晶化，改善了微晶硅底電池的特性，從而提高了非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的性能。

除了關注n-）隧穿結的影響外，本文也對影響微晶硅底電池性能的沉積參數i硅烷濃度（=/）的變化進行了研究，是沉積底電池本征層的Csc值分別是5.8%和6%制備電池的-V測試結果。我們知道反應氣體中硅烷濃度的提高將會提高微晶硅電池的Vc.通過的曲線的測試結果可以看出：硅烷濃度對微晶硅底電池的V有一定的調控作用，在底電池本征層的Csc值為6%的條件下，電池的V達到了2.135V，光電轉換效率也達到了通過前面的研究可知：非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池的性能與底電池的沉積條件和nip隧穿結的特性都有一定的關系。本文對上述參數進行了進一步優化，獲得了光電轉換效率達到9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池，具體的測試結果如所示。

4結論本文在生產線上制備的非晶硅/非晶硅疊層太陽電池的基礎上，對微晶硅底電池的沉積條件和電池中nip隧穿結的特性進行了優化，獲得了光電轉換效率達到9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三疊層太陽電池，該電池是完全的單室技術。通過研究可以看出：已經產業化的單室非晶硅薄膜太陽電池可以進行技術升級，即利用微晶硅薄膜太陽電池穩定性好和能夠拓展光譜的特點，進行高效非晶硅/微晶硅或非晶硅/非晶硅/微晶硅疊層太陽電池的研究，為硅基薄膜太陽電池產業化做出貢獻。